Skenuojančios elektroninės mikroskopijos laboratorija

KTU Dizaino ir technologijų fakultete esantis FEI firmos šiuolaikinis skenuojantis elektroninis mikroskopas Quanta 200 FEG yra vienas iš pagrindinių nano technologijų įrankių, t. y. nano struktūrų ir nano prietaisų, paviršiaus vaizdinimo priemonė.

Mikroskope naudojamas modernus lauko emisijos elektronų šaltinis leidžiantis dirbti kontroliuojamo slėgio vandens garų atmosferoje, todėl šiuo mikroskopu galima tirti elektriškai nelaidžius objektus su aukšta 1,2 nm skiriamąja geba (skiriamoji geba – minimalus registruojamas matmuo).

Jame yra įmontuotas naujos kartos Bruker firmos rentgeno spindulių energijos dispersijos spektrometras XFlash 4030, kuris šalia vaizdinimo galimybių leidžia atlikti cheminės mikro analizės tyrimus. Spektrometras leidžia kiekybiškai ir kokybiškai įvertinti bandinio sudėtį detektuojant cheminius elementus nuo Boro⁵ iki Americio⁹⁵ pasirinktame taške (1 mikrom.³ tūryje) arba bandinio plote nustatyti paviršiaus atskirų cheminių elementų pasiskirstymo žemėlapį.

Modernus 30 cm² ploto Peltje elementais šaldomas rentgeno spindulių silicio slinkties spektrometro detektorius užtikrina 133 eV (ties Mn Kalfa linija) energijos skiriamąja gebą esant dideliam rentgeno fotonų detektavimo greičiui (100.000 impulsų per sekundę).

• Daugiau apie KTU_SEM laboratorija ir jos paslaugas »